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前級泵和預(yù)抽泵的關(guān)系
2016-12-26 17:07

對于前級泵預(yù)抽泵的關(guān)系不明確的人來說,可能會認為它們是同一種產(chǎn)品,因為它們都有著為主泵做好準(zhǔn)備工作的作用。但是它們是不同的兩種泵,并不能混為一談。

前級泵


前級泵的作用是在主泵出口處造成的壓強低于主泵的比較大排氣壓強,并保證始終及時地排出主泵所排出的氣體流量。因為預(yù)抽泵也有為主泵工作,抽到預(yù)備真空的作用,所以當(dāng)預(yù)抽泵抽速不大于前級泵抽速時,可以用前級泵兼做預(yù)抽泵,但是反之則不行。因為預(yù)抽泵在為鈦泵和低溫泵之類的主泵達到預(yù)備真空時,就可以停掉。

當(dāng)僅使用前級泵的時候,即前級泵兼作預(yù)抽真空泵,則還要滿足預(yù)抽時間和預(yù)抽真空度的要求。如果是兩者共同作用,除了要滿足上述前級泵的要求外,預(yù)抽泵的抽速要讓整個系統(tǒng)能將真空室在(一般為10~15min)時間內(nèi)抽到所要求的預(yù)真空度,即整體速率減去前級泵的速率。

要分清前級泵和預(yù)抽泵的關(guān)系,不能將兩者混為一談,應(yīng)該使用哪種設(shè)備就用哪種!